天瑞 EDX600PLUS 采用下照式 + 可视化定位 + 一键测试,操作流程清晰、自动化程度高,以下是完整标准操作步骤:

检查环境:温度 15–30℃、无强光、无强振动、无尘。
打开仪器电源,启动电脑并运行 EDX600PLUS 专用软件,登录账号。
软件内点击预热,预热约30 分钟,待 X 光管、探测器稳定。
预热完成后,点击初始化,仪器自动自检光路、探测器、高压,约 10–30 秒完成。
打开样品仓盖,将对应镀层的标准校准片(如 Ag、Au、Ni、Sn 标准片)放在样品台中间。
关闭仓盖,通过软件双摄像头(全景 + 局部)观察,调节 XY 平台与 Z 轴对焦,使标准片测试点清晰、居中。
选择对应校准程序,点击校准,仪器自动采集标准片信号并建立工作曲线。
校准完成后,软件提示 “校准成功",可复测标准片验证偏差。
打开仓盖,用镊子轻放待测样品,确保表面干净、无油污、无氧化。
关闭仓盖,打开摄像头曝光,调节 XY 平台移动样品,通过30 倍放大找到目标测试点(如微小引脚、螺纹、深槽)。
调节 Z 轴自动对焦,配合激光定位 + 距离补正,确保光斑精准落在测试点,异型面(曲面 / 凹凸)也可清晰对焦。
选择对应准直器(0.1×0.2mm/Φ0.15mm 等),匹配样品大小。
在软件中选择对应镀层类型程序(如 Au/Ni/Cu、Sn/Cu、Pd/Ni 等)。
设置测试时间(常规 5–40 秒,推荐 10 秒)、重复次数(建议 2–3 次取平均)。
确认元素分析范围与镀层层数(最多 5 层),软件自动调用 EFP 算法。
点击软件开始测试或仪器面板一键测试按钮,仪器自动发射 X 射线、采集荧光信号、计算厚度。
测试过程中,实时显示计数率、能量谱图、进度条。
测试完成,界面立即显示各层厚度值、元素含量、RSD 重复性。
可点击保存存储数据,或导出 / 打印报告(PDF/Excel)。
批量测试:更换样品,重复定位→开始测试,软件自动记录所有数据。
测试结束:先关闭软件,再关闭仪器电源,清洁样品台与仓盖(酒精擦拭)。
长期不用:每周开机预热 30 分钟,保持仪器状态。
光斑精准:微小样品用最小准直器(0.1mm),确保光斑覆盖测试点。
异型样品:利用距离补正与变焦,螺纹、深槽、曲面均可稳定测量。
数据可靠:同一点测 2–3 次取平均,RSD<3% 为合格。
安全:测试时严禁打开仓盖,X 射线仅在仓内工作,安全联锁保护。
